A、①是单质和化合物反应生成单质和化合物的置换反应，②是化合反应，③是置换反应；其中①③相同，故选项错误；B、①②③中的硅元素都有单质的反应或生成，单质中元素的化合价为零，故都有化合价的改变； 选项正确；C、SiO2和SiCl4中硅的化合价相同，都是+4价；故选项正确；D、制得的高纯硅属于固态非金属材料，故选项错误；故选项为：BC．
