1,粗抽泵（统称机械泵）他的排气口，直接排放到大气，但极限（能力）小。范围（1E0~大气压）
2，罗茨泵，必须在排气口接一个机械泵，工作范围（5E-2~1000Pa),如果没达到工作范围（1000Pa)以上的真空度，运转罗茨泵，使负载大，烧坏罗茨泵的。
3，分子泵（油扩散泵）：以扩散泵为例，工作范围（1E-7Pa~5pa)，排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于，扩散泵不起作用，还会使扩散泵油氧化。
4，粗抽阀，是机械泵开启后，开启粗抽阀，。。。。
下班了，你用的话，以后再答，我是做真空设备的
原因如下：
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。
维持泵是微抽扩散泵的真空，机械泵是起粗抽真空室的大气，罗茨泵是起到增加压力帮助机械泵精抽的，扩散泵需要加热……太烦了说不清楚
请看下图
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